HgCdTe探測器應(yīng)力的多重晶X射線衍射分析
| 論文類型 | 基礎(chǔ)研究 | 發(fā)表日期 | 2004-08-01 |
| 來源 | 功能材料與器件學(xué)報(bào) | ||
| 作者 | 孫濤,王慶學(xué),陳文橋,梁晉穗,陳興國,胡曉寧,李言謹(jǐn),何力 | ||
| 關(guān)鍵詞 | HgCdTe 應(yīng)力 鈍化 三重晶x射線衍射 倒易空間作圖 | ||
| 摘要 | HgCdTe光伏探測器的鈍化介質(zhì)膜應(yīng)力常常限制其低溫性能，利用高分辨率多重晶x射線衍射儀中的三重晶衍射技術(shù)和倒易空間作圖對鈍化介質(zhì)膜應(yīng)力進(jìn)行了表征，發(fā)現(xiàn)在較高濺射能量下沉積的鈍化膜，由于應(yīng)力的作用，HgCdTe晶片出現(xiàn)彎曲，并有大量鑲嵌結(jié)構(gòu)，而在較低的濺射能量下和熱蒸發(fā)下沉積的鈍化膜，晶面未出現(xiàn)明顯彎曲，可獲得較低應(yīng)力的鈍化介質(zhì)層。 | ||
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